中国首台7纳米光刻机(中国首台7纳米光刻机美国不让发货)

看看新闻Knews综合

2022-02-08 08:41

昨天(2月7日),由上海微电子研发制造的中国首台2.5D与3D先进封装光刻机,在上海正式交付。这一具有高分辨率、高套刻精度、超大曝光面积等特点的高端设备,将推动我国集成电路封装/测试环节提升工艺水平、开拓新工艺。

在这台2.5D/3D封装光刻机上,一大技术亮点是能通过系统级封装,把内存、中央处理器、射频和接口等独立的小芯片,集成在一起,提升芯片的集成度,增强系统功能的多样性和复杂性,同时,对产品良率和成本做到有效控制。

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目前,这一封装光刻机制造技术,国际上仅少数几个国家掌握。上海微电子装备(集团)股份有限公司副总经理黄栋梁表示,“它现在单次静态的曝光视场 可以做到60毫米乘60毫米,我们可以一次将很多个不同种类的芯片摆在一起,通过一次曝光的方式 实现它们相互之间的连通。”

2009年至今,上海微电子通过自主攻关,已先后研发、制造出三代光刻机产品。其中,封装光刻机在全球市场占有40%以上的份额;国内市场占有率超90%,技术水平已迈入国际第一梯队。

\”十四五\”期间,上海电气还将聚焦关键领域的技术和装备突破,进一步提升自主创新能力。 上海电气集团党委书记、董事长冷伟青说道:“比如漂浮式海上风机,比如海上直流输电,也包括工业汽机、工业燃机、四代核电 1、5兆瓦的风机等等。科技创新是我们企业的根和魂。”

(看看新闻Knews记者:金普庆 实习编辑:秦雨佳)

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